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暗視場(chǎng)觀察法
日期：2025-09-25 06:39
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摘要：
暗視場(chǎng)觀察法
暗視場(chǎng)可以讓用戶(hù)觀察來(lái)自樣本散射和衍射的光線(xiàn)。光源的光線(xiàn)會(huì)先穿過(guò)照明裝置中的環(huán)形光學(xué)照明器件，然后在樣本上聚焦。樣本上的光線(xiàn)只是由Z 軸上的瑕疵反射形成的。因此，用戶(hù)可以觀測(cè)到比光學(xué)顯微鏡分辨極限更小的、8 nm 級(jí)的微小劃痕和缺陷。暗視場(chǎng)適合檢測(cè)樣本上的微小劃痕及瑕疵和檢查表面光滑的樣本，包括晶圓。
